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往復真空泵的工作原理如圖所示。主要部件是氣缸1及在其中做往復直線運動的活塞2。活塞的驅動是用曲柄連桿3來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5。
運轉時,在電動機的驅動下,通過曲柄連桿機構的作用,使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動肘,由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內氣體的密度減小,而形成抽氣過程,此時容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到zui右位置時,氣缸內就*充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨著活塞從右向左運動而逐漸被壓縮,當氣缸內氣體的壓強達到或稍大于大氣壓時,排氣閥4被打開,將氣體排到大氣中,完成一個工作循環。當活塞再自左向右運動時,又吸進一部分氣體,重復前一循環,如此反復下去,直到被抽容器內達到某一穩定的平衡壓力為止。